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AMHS (Automated Material Handling Systems: 자동화 물류 반송 시스템)
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Clean WAY를 통해서 FOUP을 천정반송 하는 OHT (천장에 매달려있는 레일형태의 물류설비)
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FOUP을 보관하는 역활을 하는 ==STB==, AZFS와 STOCKER
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FOUP을 층간반송하는 ZIP TOWER로 구성되어 있습니다.
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(ZIP TOWER는 하이닉스에서 쓰는 단어, 일반적으론 리프터라고 한다고 함.)
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**반송 장비** 라는 말도 AMHS 장비를 의미하는 것 같음.
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- FAB내에 자재들을 반송 / 운송하는 장비
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- 사람에 의한 반송이 아닌 자동화 장비들에 의한 반송
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반송장비에 해당되는 설비들
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- [[Stocker]]
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- [[OHT]] (Overhead Hoist Transport)
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- [[OHS]] (Overhead Shuttle)
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- [[Lifter]]
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- Conveyor
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- AGV (Automated Guided Vehicles)
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- RGV (Rail Guided Vehicles)
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