830 B
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AMHS (Automated Material Handling Systems: 자동화 물류 반송 시스템)
Clean WAY를 통해서 FOUP을 천정반송 하는 OHT (천장에 매달려있는 레일형태의 물류설비)
FOUP을 보관하는 역활을 하는 ==STB==, AZFS와 STOCKER
FOUP을 층간반송하는 ZIP TOWER로 구성되어 있습니다.
(ZIP TOWER는 하이닉스에서 쓰는 단어, 일반적으론 리프터라고 한다고 함.)
반송 장비 라는 말도 AMHS 장비를 의미하는 것 같음.
- FAB내에 자재들을 반송 / 운송하는 장비
- 사람에 의한 반송이 아닌 자동화 장비들에 의한 반송
반송장비에 해당되는 설비들