583 B
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Side Track Buffer
하이닉스에서만 사용하는 반송설비의 종류
Stocker (STK) 와 비슷하게 동작하는 Storage Machine의 일종이고 STK와 다르게 설비 내부에 Crane이 없고 OHT가 직접 반송을 해줌.
OHT 반송 설비의 레일(트랙) 옆에 위치하는.. 느낌은 Shelf인데(저장소인데), Foup에 질소를 충전하는 곳? 으로 사용되는 것 같습니다.
찾아보니, UTB (Under Track Buffer) 라는 용어도 있습니다
트랙 옆에 저장(보관)하면 Side STB 트랙 아래에 저장(보관하면 Under) UTB ??